在做氧化實(shí)驗(yàn)或者硅片清洗時(shí)，需要用到高濃高度臭氧發(fā)生器，高濃度臭氧發(fā)生器很多人理解為臭氧濃度在100%，其實(shí)大家所謂的高濃度臭氧發(fā)生器是臭氧濃度超過(guò)100mg/L，都稱為高濃度，這2個(gè)單位是不一樣的。在半導(dǎo)體行業(yè)，需要的臭氧濃度在200mg/L-400mg/L，下面介紹一款濃度在超過(guò)200mg/L的臭氧發(fā)生器。

 

加拿大 Absolute Ozone® ATLAS H30 高濃度臭氧發(fā)生器

產(chǎn)品特性*

臭氧產(chǎn)量：30g/h

標(biāo)稱工作壓力：20 PSIG

臭氧濃度：高達(dá) 22%，

氣體流速：0.1 – 4 slpm

原料氣 - 氧氣濃度為 90%-95%，以獲得 很佳性能。

 

環(huán)境操作條件

將臭氧發(fā)生器放置在通風(fēng)良好且不受天氣因素影響的區(qū)域

 

控制電源要求

220 V ~ ±3%，50/60 Hz，單相，3.5 A

很大功耗：350 W

 

物理連接

氧氣入口：0.25 英寸世偉洛克

臭氧氣體管道出口：0.25 英寸不銹鋼世偉洛克

 

材料和結(jié)構(gòu)

外殼：拉絲不銹鋼/鋁制

高精度機(jī)加工臭氧發(fā)生器電池在高達(dá) 150 PSIG 的壓力下進(jìn)行泄漏測(cè)試

O3/O2 氣體管道：PTFE/304 不銹鋼/黃銅

 

尺寸及重量

外殼尺寸：177.8 mm高 x 355.6 mm寬 x mm 深

發(fā)電機(jī)重量：12Kg

 

這一款是風(fēng)冷，臭氧濃度高，相比同種產(chǎn)量和濃度的臭氧發(fā)生器來(lái)說(shuō)，體積非常的小，適合實(shí)驗(yàn)室或者工業(yè)化使用。